القياس الدقيق هو نشاط الحصول على بيانات دقيقة للغاية تقارب القيمة الحقيقية عن طريق التحكم في أخطاء القياس ضمن نطاق صغير جدًا باستخدام الوسائل التكنولوجية المتقدمة.
1. قياس الدقة - الضيق (قياس الكمية الهندسية)
يركز هذا في المقام الأول على التحديد الدقيق للمعلمات الهندسية مثل الطول والزاوية والشكل، والتي توجد عادة في إنتاج الأجزاء الميكانيكية الدقيقة. على سبيل المثال، في عملية تصنيع آلات الطباعة الحجرية للرقائق، يجب أن يصل الخطأ البعدي للمكونات الأساسية إلى مستوى النانومتر، مما يتطلب قياس مستوى أقل من - ميكرون ومعايرته باستخدام -معدات عالية الدقة مثل مقاييس التداخل الليزرية.
2. القياس الدقيق واسع النطاق (قياس الكمية الفيزيائية متعدد الأبعاد)
ويمتد هذا إلى قياس الكميات الفيزيائية مثل درجة الحرارة، والخواص الكهرومغناطيسية، وخصائص السوائل، مما يدعم التصنيع -المتطور والأبحاث العلمية-المتطورة. تتطلب أنظمة التحكم في وضع القمر الصناعي مراقبة متزامنة لمعلمات متعددة، مثل قياس السرعة الزاوية بالجيروسكوب (دقة تصل إلى 0.001 درجة / ساعة) واكتشاف استقرار تردد الساعة على متن الطائرة (خطأ أقل من 1×10⁻¹³).
3. عناصر التنفيذ الأساسية
• التحكم في بيئة القياس: يحتاج مختبر درجة حرارة الفراغ الثابتة -المطلوب للكشف عن موجات الجاذبية إلى منع تقلبات درجة الحرارة إلى حدود 0.01 درجة.
• مستوى دقة الأداة: يمكن للأجهزة المرجعية للوقت على مدار الساعة الذرية تحقيق خطأ لا يزيد عن ثانية واحدة على مدى عشرات الملايين من السنين.
• تقنية إزالة الأخطاء: تستخدم أجهزة قياس الإحداثيات خوارزميات تعويض المسبار المتعددة لتقليل أخطاء النظام إلى أقل من 0.5 ميكرومتر.